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 薄膜材料暨設備部 |
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一、 薄膜材料
1. 精密光學鍍膜材料
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- 高折射 : Ta2O5, Ti3O5, TiO2, Nb2O5, ZrO2
- 低折射 :SiO2, MgF2
- 助鍍系統: Mo-Grid for Ion Source
LaB6 for Leybold APS
- 耗材備品: 石英震盪片, 各式坩堝、電子鎗灯絲
2. 平面顯示器＝＞ITO, Si, Nb, Ta Target
3. 光電半導體＝＞Au, Ag, Ni, Cr, Ti, Al, Pt
4. 光碟片 ＝＞Al target, Mask, Shield
5. 詳細產品型錄
6. 膜料規格說明 |
| 二、中古設備 |
1. 精密光學＝＞ Optorun, Leybold, Showa, Shincron, Veeco 高階鍍膜機
2. LED ＝＞MOCVD, Chip Process設備,量測分類設備
3. 半導體 ＝＞曝光, 顯影, 蝕刻,PVD, CVD, 離子植入, 研磨, 量測分類設備 |
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